1、无尘室厂区总图布局应考虑产品工艺特点和防止交叉污染,按生产、行政、生活和辅助区等合理布局,不得互相防碍。
2、无尘室厂区功能设施一定要配套,必须有保证产品生产所需的生产、仓库、科研、办公及水、电、汽、气公用工程等主要功能厂房设施以外,还应配备三废处理池、废渣料与垃圾临时堆放场地、停车库、机修、饭堂等辅助设施.辅助设施必须因地制宜,按实际需要配套,工厂无尘室设备移位作业方案,缺一都会影响厂区环境卫生,影响生产正常进行。
3、设置有无尘室的厂房与厂外周围环境的相对位置及与厂内其它厂房设施之间的相对位置,厂房无尘室设备移位作业方案,适用于远离产生粉尘、烟雾、有毒气体的污染源,在污染源上风侧,并有一定防护距离的原则。
洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件,容易洗涤,底则采用塑胶底,布质部分则采用与洁净衣相同材质即可,鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂(Vinyl),在使用过程中若有不舒适感或妨害手指脂触感者则停止使用,手套表面有粉质时须去除或停用,原则上以使用无粉之Vinyl手套为佳。(清洁急救网合作工厂伙伴为清洁**提供无尘车间实地演示)无尘衣、鞋、帽子等须由专人管理,并定期做清洗,清洗须在洁净室内进行,并以纯水配合清洁溶剂,并经约0.2μm过滤器为之,一般洗涤周期视清洁度等级而定,在高洁净区为2~3天,其他区域则为5天~1星期,洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室,备用品或新品存放柜内,正使用者则吊挂衣架上,厂房无尘室设备移位作业方案,以为方便取用。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,湖北无尘室设备移位作业方案,可提供局部**洁净之空气。⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。